【摘要】 本发明为一种主被动结合的移相干涉波面测量方法，第一步：对 被测口径内任意点引入环境干扰造成的被动移相量以及主动移相量； 第二步：从光强-时间曲线中找到极大值和极小值，求得背景项和调制 项；第三步：解得第i帧干涉图中点相位；第四步：得到该点在不同 干涉图中的对应的相位信息；第五步：叠加各帧相位信息图求平均， 得到被测的波面相位分布的测量结果，本发明的测量方法简单，对环 境要求不高，无需特别的减振或隔绝气流措施；主被动结合，测量效 率较高；有效消除环境干扰的影响，实现波面的高精度测量。 【专利类型】发明申请 【申请人】北京理工大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】100081北京市海淀区中关村南大街5号 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】海淀区 【申请号】CN200810188354.8 【申请日】2008-12-25 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101639383A 【公开公告日】2010-02-03 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101639383B 【授权公告日】2010-12-29 【授权公告年份】2010.0 【发明人】郝群; 朱秋东; 汤磊; 胡摇 【主权项内容】1、一种主被动结合的移相干涉波面测量方法，其特征在于：包括以下步骤： 第一步：采集光强遍历干涉图序列，对被测口径内任意P(x，y)点引入主动移相量δa(x，y，t)，同时包含环境干扰造成的被动移相量δp(x，y，t)，对应总移相量为若干个周期，移相量单调增大且步长超过被动移相量；同一周期内主被动移相结合采样帧数超过100帧，则第i帧干涉图光强分布为 I[x，y，δi(x，y，t)]＝ia(x，y)+ib(x，y)·cos[Φ(x，y)+δi(x，y，t)]????(1) 其中，ia(x，y)是背景项，ib(x，y)为调制项，Φ(x，y)为被测波面的初始相位分布，δi(x，y，t)为该点在t时刻的移相量，即采集第i帧干涉图时的移相量，包括主被动两部分，δi(x，y，t)＝δp(x，y，t)+δa(x，y，t)； 第二步：寻找干涉图各点光强在时间轴上的极值，满足第一步主动移相条件的同一点P(x，y)的光强值将随时间近似余弦规律变化，可从该点光强-时间曲线中找到极大值Imax[x，y，δi(x，y，t)]和极小值Imin[x，y，δi(x，y，t)]； 第三步：求取干涉图各点背景项和调制项，第二步得到的极大极小值与公式(1)中的背景项和调制项满足公式(2)的关系，因此进一步利用公式(3)求得公式(1)中的背景项和调制项； 第四步：求解各点相位，将公式(3)代入公式(1)中，利用反余弦函数可以解得第i帧干涉图中P(x，y)点相位如公式(4)所示 将时间顺序记录下的各帧干涉图中同一点的光强值，分别带入到公式(4)所示的解相公式中，得到该点在不同干涉图中的对应的相位信息； 第五步：叠加各帧波面分布信息求平均，得到被测的波面测量结果，如公式(5)所示： 其中，W为空间解包裹算符，Φ(x，y)为被测波面相位分布的测量结果；Φ(x，y)为被测波面的实际相位分布；L为主动移相和环境振动带来的刚性移相量，对波面分布无影响。。 【当前权利人】北京理工大学 【当前专利权人地址】北京市海淀区中关村南大街5号 【统一社会信用代码】12100000400009127B 【被引证次数】TRUE 【家族被引证次数】TRUE
