【摘要】 本发明公开了一种平板加热器及等离子体加工设备。在平板加热器的主支撑和加热板 的边缘部位之间设置辅助支撑。辅助支撑可以是柱状四角支撑、柱状多点支撑，也可以是 板状、圆锥状、棱锥状支撑。通过辅助支撑的辅助力量和反向热膨胀效果，改善了加热板 平面的变形情况，维持平整性，使加热板与其上方的工艺基板接触良好，保证其加热性能 和极板接地性能良好，机械结构稳定、对工艺参数的均匀性影响小，并可以通过调节辅助 支撑的长度，有效的减少辅助支撑的更换和维护操作，降低支撑部件的维护成本。主要应 用于等离子增强化学气相淀积设备或其它的等离子体加工设备。。 【专利类型】发明申请 【申请人】北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5座2楼 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】朝阳区 【申请号】CN200810119172.5 【申请日】2008-08-28 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101660143A 【公开公告日】2010-03-03 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101660143B 【授权公告日】2011-08-17 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】C23C16/46; H01L21/00 【发明人】李谦 【主权项内容】1、一种平板加热器，包括主支撑、加热板，所述主支撑支撑于所述加热板的中部， 其特征在于，所述加热板的边缘部位与所述主支撑之间连接有辅助支撑。 【当前权利人】北京北方华创微电子装备有限公司 【当前专利权人地址】北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91110302801786752A 【被引证次数】7 【被他引次数】7.0 【家族引证次数】4.0 【家族被引证次数】7
