【摘要】 一种电离规，该电离规包括阴极、栅极和离子收集极，该栅极设置于该阴极与该离子收集极之间，阴极、栅极和离子收集极间隔绝缘设置，其中，所述栅极包括一碳纳米管结构。该电离规用于测量真空环境的真空度。 【专利类型】发明授权 【申请人】清华大学; 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 【申请人类型】企业,学校 【申请人地址】100084 北京市海淀区清华园1号清华大学清华-富士康纳米科技研究中心401室 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】海淀区 【申请号】CN200810066962.1 【申请日】2008-05-07 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101576423B 【公开公告日】2010-12-29 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101576423B 【授权公告日】2010-12-29 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】G01L21/30; G01L21/32; G01L21/34 【发明人】肖林; 刘亮; 姜开利; 范守善 【主权项内容】一种电离规，包括阴极，栅极和离子收集极，该栅极设置于阴极与离子收集极之间，阴极，栅极和离子收集极分别间隔绝缘设置，其特征在于，所述栅极包括一碳纳米管结构。 【当前权利人】清华大学; 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 【当前专利权人地址】北京市海淀区清华园1号清华大学清华-富士康纳米科技研究中心401室; 广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号 【专利权人类型】公立; 有限责任公司(外国法人独资) 【统一社会信用代码】12100000400000624D; 914403007084307436 【引证次数】4.0 【自引次数】1.0 【他引次数】3.0 【家族引证次数】18.0 【家族被引证次数】15
