【摘要】 本发明公开了一种静电卡盘电源电流采样装置及方法及等离子体装置。包括串联于静 电卡盘电源输出端的采样电阻，采样电阻的两端分别连接有电阻分阻器，电阻分阻器的另 一端接地，电阻分阻器的分阻点设有电压采集装置。通过测定分阻点的电压，计算出采样 电阻两端之间的电压，进而计算出采样电阻中的电流，即静电卡盘电源的输出电流。分阻 点的电压较低，对电压采集装置的要求较低，使整个装置的成本低、可靠性高。 【专利类型】发明申请 【申请人】北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5座2楼 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】朝阳区 【申请号】CN200810118186.5 【申请日】2008-08-13 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101651084A 【公开公告日】2010-02-17 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101651084B 【授权公告日】2011-08-17 【授权公告年份】2011.0 【发明人】蒲春 【主权项内容】1、一种静电卡盘电源电流采样装置，包括串联于所述静电卡盘电源输出端的采样电 阻，其特征在于，所述采样电阻的两端分别连接有电阻分阻器，所述电阻分阻器的另一端 接地，所述电阻分阻器的分阻点设有电压采集装置。 【当前权利人】北京北方华创微电子装备有限公司 【当前专利权人地址】北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91110302801786752A 【被引证次数】TRUE 【家族被引证次数】TRUE
