【摘要】 本发明公开了一种高压电源输出采样装置及等离子体装置，采样装置包括电阻网络，电阻网络中，采样电阻与分压电阻串联，之后与分流电阻并联，之后再与串联电阻串联。等离子体装置的静电卡盘电源输出的电压首先经过串联电阻分压，然后经过分流电阻分流，再经过分压电阻进一步分压，最后使采样电阻上的电压和电流均达到较低的水平。通过光电耦合装置将采样电阻上的电压信息输入给电压检测装置，可以精确的检测出采样电阻上的电压或电流，再换算成静电卡盘电源输出的电压或电流信息。检测精度高，且成本低、结构简单。。 【专利类型】发明申请 【申请人】北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5座2楼 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】朝阳区 【申请号】CN200810226398.5 【申请日】2008-11-18 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101738529A 【公开公告日】2010-06-16 【公开公告年份】2010 【IPC分类号】G01R19/00; G01R15/04; H01L21/00; H01L21/683; H01J37/32; H01J37/244 【发明人】宋俊超 【主权项内容】一种高压电源输出采样装置，其特征在于，包括电阻网络，所述电阻网络包括串联电阻、分流电阻、分压电阻、采样电阻；所述采样电阻与所述分压电阻串联，然后与所述分流电阻并联，之后再与所述串联电阻串联；所述采样电阻连接有电压检测装置。。 【当前权利人】北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 【当前专利权人地址】北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5座2楼 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91110302801786752A 【引证次数】3.0 【被引证次数】3 【他引次数】3.0 【被他引次数】3.0 【家族引证次数】3.0 【家族被引证次数】3
