【摘要】 本实用新型公开了一种300mm立式氧化炉净化冷却系统，其特征在于： 设有倒U字形气道，该气道由相互连通的圆筒形横向气道(1)和扁平形左、 右侧气道(2、3)组成，在横向气道内设有循环风机(1.1)，该气道上还设 有空气补给阀(1.2)和氮气进气管(1.3)；另外还设有微环境出气管(4)； 在左侧气道的内侧设有热交换器(2.1)，在右侧气道的内侧设有化学过滤器 (3.1)和超高效过滤器(3.2)以及静电离子消除器(3.3)，所述右侧气道 和左侧气道通过两侧气道间的工艺空间(5)相互连通。本实用新型适用于 立式氧化炉的微环境的净化冷却，结构完善，控制灵活，净化、冷却效果好。 【专利类型】实用新型 【申请人】北京七星华创电子股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】朝阳区 【申请号】CN200820234110.4 【申请日】2008-12-31 【申请年份】2008 【公开公告号】CN201382678Y 【公开公告日】2010-01-13 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN201382678Y 【授权公告日】2010-01-13 【授权公告年份】2010.0 【发明人】钟华; 张豹; 王喆; 林松; 赛义德·赛迪 【主权项内容】1、一种300mm立式氧化炉净化冷却系统，其特征在于：设有倒U字形 气道，该气道由相互连通的圆筒形横向气道(1)和扁平形左、右侧气道(2、 3)组成，在横向气道内设有循环风机(1.1)，该气道上还设有空气补给阀 (1.2)和氮气进气管(1.3)；另外还设有微环境出气管(4)；在左侧气道 的内侧设有热交换器(2.1)，在右侧气道的内侧设有化学过滤器(3.1)和 超高效过滤器(3.2)以及静电离子消除器(3.3)，所述右侧气道和左侧气 道通过两侧气道间的工艺空间(5)相互连通。 【当前权利人】北京北方华创微电子装备有限公司 【当前专利权人地址】北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号 【专利权人类型】股份有限公司 【统一社会信用代码】91110000726377528Y
