【摘要】 本发明公开了一种显影液控制系统，其包括有通过管道与显影液储槽单元 连通的化学和水供应单元，用于检测所述显影液储槽单元内显影循环液中显影 剂浓度与光刻胶浓度的显影剂浓度检测单元、紫外吸光检测单元，在连通所述 化学和水供应单元与所述显影液储槽单元之间的管道上增设有控制单元，所述 控制单元分别通过管道及信号数据传输线与所述显影剂浓度检测单元、紫外吸 光检测单元连通，对所述显影剂浓度检测单元、紫外吸光检测单元进行校准处 理，并根据所述显影剂浓度检测单元、紫外吸光检测单元反馈的信息控制所述 化学和水供应单元向所述显影液储槽单元输入去离子水或/和浓纯显影液。具有 实时监测与控制的功能，还具有校准功能，可以确保产品的合格率。。微信 【专利类型】发明申请 【申请人】北京京东方光电科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】100176北京市经济技术开发区西环中路8号 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】大兴区 【申请号】CN200810117130.8 【申请日】2008-07-24 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101634816A 【公开公告日】2010-01-27 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101634816B 【授权公告日】2012-05-30 【授权公告年份】2012.0 【发明人】黄福林; 郑铁元; 权训 【主权项内容】1、一种显影液控制系统，包括有通过管道与显影液储槽单元(11)连通的 化学和水供应单元(14)，及用于检测所述显影液储槽单元(11)内显影循环 液中显影剂浓度与光刻胶浓度的显影剂浓度检测单元(13)、紫外吸光检测单 元(12)，其特征在于，在连通所述化学和水供应单元(14)与所述显影液储 槽单元(11)之间的管道上增设有控制单元(20)，所述控制单元(20)分别 通过管道及信号数据传输线与所述显影剂浓度检测单元(13)、紫外吸光检测 单元(12)连通，对所述显影剂浓度检测单元(13)、紫外吸光检测单元(12) 进行校准处理，并根据所述显影剂浓度检测单元(13)、紫外吸光检测单元(12) 反馈的信息控制所述化学和水供应单元(14)向所述显影液储槽单元(11)输 入去离子水或/和浓纯显影液。 【当前权利人】高创(苏州)电子有限公司; 京东方科技集团股份有限公司 【当前专利权人地址】江苏省苏州市吴江经济技术开发区大兢路1088号; 北京市朝阳区酒仙桥路10号 【专利权人类型】有限责任公司(台港澳与境内合资) 【统一社会信用代码】911103027493533932 【被引证次数】8 【家族被引证次数】8
