【摘要】 本发明提供一种门盖装置，包括：门盖，连杆，位于所述连杆一端的铰链，与所述连杆连接并驱动连杆绕所述铰链转动的驱动部件，还包括：转动机构，所述连杆的另一端通过所述转动机构与所述门盖转动连接。相应的，本发明还提供了一种真空设备，包括：真空腔室，以及上述的门盖装置。所述的门盖装置通过铰链和转动机构能够实现门盖两级打开或闭合，即门盖打开过程分为两个阶段，第一阶段连杆绕铰链转动，门盖相对于连杆静止，随连杆打开一定角度，第二阶段门盖绕转动机构相对于连杆转动，打开的角度进一步扩大。整体来看，所述门盖装置能够在不增加驱动部件的行程的前提下，能够获得较大的门盖开启角度，便于对真空腔室以及门盖内部的维护和清理。 【专利类型】发明授权 【申请人】北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】朝阳区 【申请号】CN200810226416.X 【申请日】2008-11-10 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101392369B 【公开公告日】2010-11-10 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101392369B 【授权公告日】2010-11-10 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】C23C16/50 【发明人】魏民 【主权项内容】一种门盖装置，包括：门盖，连杆，位于所述连杆一端的铰链，与所述连杆连接并驱动连杆绕所述铰链转动的驱动部件，其特征在于，还包括：转动机构，所述连杆的另一端通过所述转动机构与所述门盖转动连接。 【当前权利人】北京北方华创微电子装备有限公司 【当前专利权人地址】北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91110302801786752A 【被引证次数】2 【被他引次数】2.0 【家族被引证次数】5
