【摘要】 本发明公开了一种锌-锂合金材料及其制备方法,其中Li的含量为0.5-4.0%(质量)、Zn为余量,以及应用该合金生产用于集成电路硅片等离子溅射靶材的技术。该锌-锂合金的制备方法如下:按锂含量高于所需要的配比10-20%称重高纯锂、高纯锌;将锌放入高纯石墨坩埚,并将坩埚放入真空炉内,锂用高纯锌箔包裹放入真空炉的加料斗内;抽真空;升温至450~500℃使锌熔化;充氩气;加入高纯锂,在600~650℃精炼10~15分钟;浇铸,得到锌-锂合金材料。 【专利类型】发明申请 【申请人】北京有色金属与稀土应用研究所 【申请人类型】科研单位 【申请人地址】100012 北京市安定门外大羊坊2号 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】大兴区 【申请号】CN200810239842.7 【申请日】2008-12-19 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101748313A 【公开公告日】2010-06-23 【公开公告年份】2010 【IPC分类号】C22C18/00; C22C1/02; B22D21/02; C23C14/34; C23C14/14; B23P15/00; B22D21/00 【发明人】章明溪; 黄小凯 【主权项内容】一种锌-锂合金,其特征在于,其组成及质量百分比为Li:0.5-4.0%,Zn:余量。 【当前权利人】北京有色金属与稀土应用研究所 【当前专利权人地址】北京市安定门外大羊坊2号 【被引证次数】9 【被他引次数】9.0 【家族被引证次数】9