【摘要】 本发明公开了一种硅片清洗机，包括硅片承载台、旋转手臂、硅片清洗槽、旋转干燥单元；所述旋转手臂的一侧设置硅片承载台，旋转手臂的下方设置硅片清洗槽，所述硅片清洗槽内设有硅片接受器；旋转手臂的该侧或另一侧设置旋转干燥单元；旋转手臂与硅片承载台之间，以及旋转手臂与旋转干燥单元之间设置有传送杆。本发明采用全自动传送硅片的方式，对单枚硅片进行连续自动化处理，可满足日益复杂的生产工艺的需求。由于该设备可以进行自动化清洗，无需手动清洗，因而能够防止手动清洗带来的如硅片沾污、划伤等风险，同时提高了生产效率。本发明还公开了利用该硅片清洗机清洗硅片的方法。 【专利类型】发明申请 【申请人】上海华虹NEC电子有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】201206 上海市浦东新区川桥路1188号 【申请人地区】中国 【申请人城市】上海市 【申请人区县】浦东新区 【申请号】CN200810044002.5 【申请日】2008-11-25 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101740324A 【公开公告日】2010-06-16 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101740324B 【授权公告日】2011-09-28 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】H01L21/00; H01L21/02; H01L21/306; H01L21/677; B08B3/12 【发明人】宁开明 【主权项内容】一种硅片清洗机，其特征在于：包括硅片承载台、旋转手臂、硅片清洗槽、旋转干燥单元；所述旋转手臂的一侧设置硅片承载台，旋转手臂的下方设置硅片清洗槽，所述硅片清洗槽内设有硅片接受器；旋转手臂的该侧或另一侧设置旋转干燥单元；旋转手臂与硅片承载台之间，以及旋转手臂与旋转干燥单元之间设置有传送杆。。 【当前权利人】上海华虹宏力半导体制造有限公司 【当前专利权人地址】上海市浦东新区自由贸易试验区祖冲之路1399号 【专利权人类型】有限责任公司(台港澳法人独资) 【统一社会信用代码】91310000607374607X 【被引证次数】11 【被他引次数】11.0 【家族引证次数】5.0 【家族被引证次数】13
