【摘要】 本发明属于染料敏化太阳能电池材料领域，涉及一种染料敏化太阳能电池(DSSC)的阳极薄膜及其制备方法。阳极为(101)择优生长的锐钛矿晶型TiO2多孔薄膜；TiO2颗粒横截面为椭圆形，长轴约100～145nm，短轴约30～50nm；孔隙分布在TiO2柱状颗粒间，孔径介于2～100nm范围。采用中频(40KHz)或射频(13.56MHz)反应磁控溅射法制备TiO2阳极薄膜：Ti为靶，O2和Ar为放电气体，基材为导电玻璃或柔性导电基体，沉积过程中基底温度保持在120℃以下。通过调节溅射总气压及氧分压、控制偏压，制备出(101)面择优生长锐钛矿薄膜，通过控制沉积速率、基体与靶面夹角，使薄膜具有多孔结构。该制备方法特别适用于柔性DSSC的TiO2阳极薄膜的制备。。 【专利类型】发明授权 【申请人】四川大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】610064 四川省成都市一环路南一段24号 【申请人地区】中国 【申请人城市】成都市 【申请人区县】武侯区 【申请号】CN200810044309.5 【申请日】2008-04-29 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101261901B 【公开公告日】2010-06-02 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101261901B 【授权公告日】2010-06-02 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】H01G9/04; H01G9/20; H01M14/00; H01M4/02; H01M4/04; H01L31/0224; H01L31/18; H01L51/44; H01L51/48; H01L21/28; C23C14/08; C23C14/35; C23C14/54 【发明人】黄宁康; 邹宇; 王治安; 兰晓华 【主权项内容】微信 一种染料敏化太阳能电池的阳极TiO2薄膜，其结构特征是薄膜为锐钛矿晶型TiO2，晶粒沿(101)面择优生长，TiO2颗粒为柱状，垂直或倾斜排列在基体表面，薄膜为多孔结构，孔隙分布在TiO2柱状颗粒间，孔径大小为2～100nm，孔隙度为15％-25％；其制备方法是反应磁控溅射技术。 【当前权利人】四川大学 【当前专利权人地址】四川省成都市一环路南一段24号 【专利权人类型】公立 【统一社会信用代码】121000004000091949 【引证次数】9.0 【他引次数】9.0 【家族引证次数】9.0 【家族被引证次数】11
