【摘要】 一种制造发光二极管的系统及方法，包括：形成一多层外延结构于一载体基板上；沉积至少一金属层于多层外延结构上；及移除载体基板。 【专利类型】发明申请 【申请人】旭明光电股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】中国台湾苗栗县 【申请人地区】中国 【申请人城市】台湾省 【申请号】CN200880018652.0 【申请日】2008-06-04 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101785085A 【公开公告日】2010-07-21 【公开公告年份】2010 【IPC分类号】H01L21/00 【发明人】段忠; 朱振甫 【主权项内容】一种方法，包括：提供一晶圆组件，所述晶圆组件包括配置于一载体基板上的一个或更多半导体晶粒；沉积至少两金属层于所述一个或更多半导体晶粒上，以产生一金属基板的至少一部分；自所述晶圆组件移除所述载体基板；及经由所述金属基板操作所述晶圆组件用以施行进一步的处理。 -官网 【当前权利人】旭明光电股份有限公司 【引证次数】9.0 【被引证次数】7 【他引次数】9.0 【被他引次数】7.0 【家族引证次数】24.0 【家族被引证次数】119
