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适用于无尘环境中的搬运系统专利

发布时间:2026-06-18

【摘要】 本发明公开了一种适用于无尘环境中的搬运系统,此搬运系统包括基座、 吊车、电源线收纳装置以及电源线。基座具有一个轨道。吊车位于基座上并沿 轨道行走。电源线收纳装置配置于轨道的一端。电源线收纳于电源线收纳装置 中,且电源线电性连接至吊车,以供给吊车电源。采用本发明的搬运系统,可 以有效降低本发明的搬运系统在运作时的发尘量,并可以提供良好的排尘方 式,以有效维持搬运系统内的洁净度。此外,由于本发明的搬运系统的构件较 为简化,因此可以达成简易且快速的拆装,并可以降低整体的制作成本。 【专利类型】发明授权 【申请人】友达光电股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】台湾省新竹 【申请人地区】中国 【申请人城市】台湾省 【申请号】CN200810000819.2 【申请日】2008-01-22 【申请年份】2008 【公开公告号】CN100588602C 【公开公告日】2010-02-10 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN100588602C 【授权公告日】2010-02-10 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】B66C17/06; B66C19/02 【发明人】谢承勋; 李宗和 【主权项内容】1.一种适用于无尘环境中的搬运系统,其特征在于,包括: 一基座,具有一轨道; 一吊车,位于该基座上并沿该轨道行走; 一电源线收纳装置,配置于该轨道的一端;以及 一电源线,收纳于该电源线收纳装置中,且该电源线电性连接至该吊车, 以供给该吊车电源; 其中,该电源线收纳装置包括一滚轮,而该电源线的一端卷绕于该滚轮上; 该电源线收纳装置还包括一驱动单元,连接该滚轮,以驱动该滚轮回收或释放 该电源线;该电源线收纳装置还包括一外壳,罩覆该滚轮;该电源线收纳装置 还包括一抽气装置,配置于该外壳上。 【当前权利人】友达光电股份有限公司 【当前专利权人地址】台湾省新竹 【引证次数】6.0 【他引次数】6.0 【家族引证次数】6.0 【家族被引证次数】3

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  • 【摘要】本发明提供一种半导体制造工艺中去除栅上硬掩模的方法,其执行如下。首先,形成具有硬掩模的第一栅及第二栅于半导体基板上,其中该第二栅大于第一栅。第一栅及第二栅可结合SiGe源极和漏极区而形成p型晶体管。其次,沉积光致抗蚀剂层,且于第二栅
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