【摘要】 本发明公开了一种垂直式探针装置，是用以传递高频测试信号及其伴随的接地电位至一待测晶片的电子元件，具有一转接板接收高频测试信号及接地电位，输出后分别由一信号针及至少一补偿针所接收，接地电位传递至补偿针后，通过将补偿针与上、下相互导通的二接地层稳定并有效的电性接触，使接地回路经接地层导通至一接地针以至电子元件所设置的接地电位，使电子元件所接收的高频测试信号维持其特性阻抗。 【专利类型】发明申请 【申请人】旺矽科技股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】中国台湾新竹县 【申请人地区】中国 【申请人城市】台湾省 【申请号】CN200810182183.8 【申请日】2008-11-24 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101738509A 【公开公告日】2010-06-16 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101738509B 【授权公告日】2011-11-30 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】G01R1/067; G01R1/073 【发明人】顾伟正; 林信宏; 何志浩; 谢昭平; 廖秉孝; 赖俊良; 陈建良 【主权项内容】一种垂直式探针装置，其特征在于包括有：一转接板，具有一底面，该底面设置有至少一信号接点及至少一接地接点，该接地接点电性导通至接地电位；一探针座，具有上、下相对的一上导板及一下导板，该上导板接设于该转接板的底面；一信号针，穿设该探针座，具有一针尖及一针尾，该信号针的针尖悬设于该下导板下方，该信号针的针尾电性连接该至少一信号接点；一补偿针，与该信号针相邻特定的间距，具有一针尖及一针尾，该补偿针的针尖抵顶于该下导板，该补偿针的针尾电性连接该至少一接地接点；以及，一接地针，穿设该探针座，具有一针尖及一针尾，该接地针的针尖悬设于该下导板下方，该接地针的针尾电性连接该补偿针的针尖。 【当前权利人】旺矽科技股份有限公司 【当前专利权人地址】中国台湾新竹县 【被引证次数】12 【被自引次数】6.0 【被他引次数】6.0 【家族引证次数】5.0 【家族被引证次数】12
