【摘要】 一种表面检测装置及方法，用以非破坏性地检测一受测表面，该装置包 括一改质单元及一处理单元。该改质单元提供一表面改质剂至该受测表面上， 以使该受测表面暂时形成一改质表面。该处理单元利用侦测该改质表面，获 得第一表面特性资料，且根据该第一表面特性资料，决定该受测表面是否具 有一异质瑕疵。本发明通过在受测表面上加表面改质剂后检测该改质表面判 断受测表面是否具有异质瑕疵，该方法不受待测基材的受测表面所具有的不 规则纹路而影响，且其检测准确快速，另外，对受测表面检测完毕后，还可 进行复原，不破坏原受测表面。 【专利类型】发明申请 【申请人】台达电子工业股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】台湾省桃园县龟山乡山顶村兴邦路31之1号 【申请人地区】中国 【申请人城市】台湾省 【申请号】CN200810133087.4 【申请日】2008-07-08 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101625328A 【公开公告日】2010-01-13 【公开公告年份】2010 【发明人】何国诚; 张仁明; 陈诗涌; 陈正锴; 赖夏枝; 许贸雄; 林瑞堉; 沈家麟 【主权项内容】1、一种表面检测装置，用以非破坏性地检测一受测表面，其特征在于， 包括： 一改质单元，提供一表面改质剂至该受测表面上，以使该受测表面暂时 形成一改质表面；及 一处理单元，侦测该改质表面，获得第一表面特性资料，且根据该第一 表面特性资料，决定该受测表面是否具有一异质瑕疵。 【当前权利人】台达电子工业股份有限公司 【当前专利权人地址】台湾省桃园县龟山乡山顶村兴邦路31之1号
