【摘要】 本发明是一种两段式上下板影像精密对位方法及其装置，该影像精密对位装置主要是包括一承载平台、一组预对位取像组件、一组细对位取像组件以及一内建影像分析程序及驱动控制程序的控制组件，该影像精密对位方法是先提供一组复合标记，该复合标记包含有设于上板的数个预对位上标记及数个细对位上标记，以及设于下板的数个预对位下标记及数个细对位下标记，之后，于确认上下板进入启始对位位置后，先以低倍率影像判断及位置补偿手段进行上下板间的快速预对位，接着再以高倍率影像判断及位置补偿手段进行上下板间的精密对位，藉此两段式影像精密对位的机制，使其在上下板间对位控制过程，具有对位快速而精密且操作便利等功效。 【专利类型】发明申请 【申请人】财团法人金属工业研究发展中心 【申请人类型】科研单位 【申请人地址】中国台湾高雄市 【申请人地区】中国 【申请人城市】台湾省 【申请号】CN200810176471.2 【申请日】2008-11-13 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101738881A 【公开公告日】2010-06-16 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101738881B 【授权公告日】2011-06-22 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】G03F9/00; G03F7/20; H01L21/68 【发明人】林崇田; 张成仲; 刘冠志 【主权项内容】一种两段式上下板影像精密对位方法，其特征在于，是对上、下板先行提供一组复合标记，该复合标记包含有设于上板预定位置处的数个预对位上标记及数个细对位上标记，以及设于下板预定位置处的数个预对位下标记及数个细对位下标记，该精密对位方法的执行程序是包含：确认上板及下板是否进入启始对位位置；预对位及位置误差补偿程序，是以低倍率影像判断手段进行上下板间的预对位，且于判断下板的各预对位下标记与上板相对应的预对位上标记有位置误差时，令上、下板中的任一位移而进行位置补偿，直至每一预对位下标记分别与相对应的预对位上标记对准；细对位及位置误差补偿程序，是以高倍率影像判断手段进行上下板间的细对位，且于判断下板的各细对位下标记与上板相对应的细对位上标记有位置误差时，令上、下板中的任一位移进行位置补偿，直至每一细对位下标记分别与上板相对应的细对位上标记对准，完成上下板间的精密对位。 【当前权利人】财团法人金属工业研究发展中心 【当前专利权人地址】中国台湾高雄市 【被引证次数】11 【被他引次数】11.0 【家族引证次数】6.0 【家族被引证次数】11
