【摘要】 本发明公开了一种检测装置与用于此检测装置的检测方法，该检测装置包括移动平台、扫描模块、复检模块及定位模块，该移动平台适于使基板沿第一方向来回移动。扫描模块与复检模块配置于移动平台上方，复检模块包括可移动的第一图像感测组件。定位模块配置于移动平台侧边，且包括具有至少二光感测组件的光感测组件组。扫描模块用以检测基板上缺陷的位置，定位模块根据缺陷的位置使光感测组件组移动至适当位置。移动平台在其中一光感测组件感测到基板的第一侧边时减速，且移动平台在另一光感测组件感测到基板的第一侧边时停止。复检模块根据缺陷的位置移动第一图像感测组件，以复检基板上的缺陷。 【专利类型】发明授权 【申请人】友达光电股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】中国台湾新竹 【申请人地区】中国 【申请人城市】台湾省 【申请号】CN200810188889.5 【申请日】2008-12-30 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101446699B 【公开公告日】2010-06-02 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101446699B 【授权公告日】2010-06-02 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】G02F1/13; G01M11/02 【发明人】张献宜 【主权项内容】一种检测装置，适于检测一基板上的一缺陷，其特征在于，该检测装置包括：一移动平台，适于使该基板沿一第一方向来回移动；一扫描模块，配置于该移动平台上方，该扫描模块的视场沿一第二方向横跨该移动平台，而该第一方向与该第二方向之间存有一90度夹角；一复检模块，配置于该移动平台上方，且位于该扫描模块旁，该复检模块包括沿该第二方向横跨该移动平台的一第一轨道以及适于在该第一轨道上移动的一第一图像感测组件；以及一定位模块，配置于该移动平台侧边，该定位模块包括平行该第一方向的一第二轨道以及适于在该第二轨道上移动的一光感测组件组，该光感测组件组包括沿该第一方向排列的至少二光感测组件，其中，该扫描模块用以检测该缺陷的位置，该定位模块适于根据该缺陷的位置使该光感测组件组从一预设位置朝接近该复检模块的方向移动至一适当位置，该移动平台在该些光感测组件的其中之一感测到该基板的平行该第二方向的一第一侧边时减速，且该移动平台在该些光感测组件其中另一感测到该基板的该第一侧边时停止，该复检模块适于根据该缺陷的位置移动该第一图像感测组件以复检该基板上的该缺陷；该光感测组件组位于该预设位置时，该光感测组件组与该复检模块之间的距离约等于该基板的平行该第一方向的一第二侧边的长度；该预设位置与该适当位置之间的距离等于该第二侧边的长度减去该缺陷与该第一侧边之间的最短距离。 【当前权利人】友达光电股份有限公司 【当前专利权人地址】中国台湾新竹 【引证次数】4.0 【他引次数】4.0 【家族引证次数】4.0 【家族被引证次数】16
