【摘要】 本发明涉及一种微机电激光扫描装置的二片式fθ镜，第一镜片为双凸 形镜片及第二镜片为新月形且凸面在微机电反射镜侧的镜片，其中第一镜片 具有二个光学面，在主扫描方向至少有一个光学面由非球面所构成，第二镜 片具有二个光学面，在主扫描方向至少有一个光学面由非球面所构成，主要 将微机电反射镜反射的角度与时间非线性关系的扫描光线光点转换成距离与 时间为线性的扫描光线光点，修正聚光于目标物上，且第一镜片及第二镜片 均满足特定的光学条件，通过第一镜片及第二镜片的设置，可实现线性扫描 效果与高分辨率扫描的目的。 【专利类型】发明申请 【申请人】一品光学工业股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】台湾省台北市 【申请人地区】中国 【申请人城市】台湾省 【申请号】CN200810145689.1 【申请日】2008-08-15 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101650471A 【公开公告日】2010-02-17 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101650471B 【授权公告日】2012-07-18 【授权公告年份】2012.0 【发明人】施柏源 【主权项内容】1、一种微机电激光扫描装置的二片式fθ镜片，其适用于微机电激光扫 描装置，所述微机电激光扫描装置至少包含用以发射光束的光源、用以共振 左右摆动将光源发射的光束反射成为扫描光线的微机电反射镜、及用以感光 的目标物；所述二片式fθ镜片包含从所述微机电反射镜依次设置的一双凸 形的第一镜片及新月形且凸面在所述微机电反射镜侧的第二镜片，其中所述 第一镜片具有第一光学面及第二光学面，所述第一光学面与所述第二光学面 在主扫描方向至少有一个光学面由非球面所构成，以用于将所述微机电反射 镜反射的角度与时间非线性关系的扫描光线光点转换成距离与时间为线性关 系的扫描光线光点；所述第二镜片具有第三光学面及第四光学面，所述第三 光学面与所述第四光学面在主扫描方向至少有一个光学面由非球面所构成， 以用于将所述第一镜片的扫描光线修正聚光于所述目标物上；根据所述二片 式fθ镜片将所述微机电反射镜反射的扫描光线成像于所述目标物上。 【当前权利人】一品光学工业股份有限公司 【当前专利权人地址】中国台湾台北市 【被引证次数】TRUE 【家族被引证次数】TRUE
