【摘要】 本发明是从硬件上防止工艺气体混合的控制方法，防止不应该混合的气体混合在一起对设备和人身产生损害，特别适用于快速退火炉这类具有多种工艺气体的设备，属于半导体制造领域。该技术主要是从硬件角度实现互锁功能。包括：气路管道、电磁阀、以及控制电磁阀的电路。本发明可以从硬件上保证不该混合的气体混合，避免了软件故障和人为原因造成的气体混合。 【专利类型】发明申请 【申请人】北京中科信电子装备有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】101111 北京市中关村科技园通州园光机电一体化产业基地兴光二街6号 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】通州区 【申请号】CN200810224642.4 【申请日】2008-10-22 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101728232A 【公开公告日】2010-06-09 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101728232B 【授权公告日】2012-07-04 【授权公告年份】2012.0 【IPC分类号】H01L21/00 【发明人】王迪平; 许波涛; 胡振东 【主权项内容】一种从硬件上防止工艺气体混合的控制方法，其特征在于：采用六组常开触点的继电器，控制不同工艺气体的继电器的常开触点串连连接。最多可以控制六路工艺气体。 【当前权利人】北京烁科中科信电子装备有限公司 【当前专利权人地址】北京市通州区兴光二街6号1幢1层 【专利权人类型】有限责任公司(法人独资) 【统一社会信用代码】911101127513429762 【被引证次数】2 【被他引次数】2.0 【家族引证次数】3.0 【家族被引证次数】2
