【摘要】 一种传动机构的表面镀膜方法，包括以下步骤：提供一传动机构；清洁该 传动机构的表面；将该传动机构设置于一工作环境，在该工作环境中导入一氢 气与一四甲基硅烷(Tetra-methylsilane；TMS；Si(CH3)4)气体，施加一功率为 800～1500瓦的外加电力而在该工作环境中产生一偏压电场，以便在该传动机 构的表面形成一附着膜；在附着膜的表面形成一混合膜；以及在混合膜的表面 形成一非晶质类钻石(diamond-like carbon；DLC)膜，以便制成一镀膜传动机 构。在混合膜中，越远离传动机构处，非晶质DLC材料的含量越高。通过本 发明方法可以有效确保镀膜传动机构具备较高的表面硬度，进而提升镀膜传动 机构的抗磨损能力与使用寿命。 【专利类型】发明申请 【申请人】林玉雪 【申请人类型】个人 【申请人地址】台湾省台北市 【申请人地区】中国 【申请人城市】台湾省 【申请号】CN200810211839.4 【申请日】2008-09-09 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101671814A 【公开公告日】2010-03-17 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101671814B 【授权公告日】2011-06-08 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】C23C16/32; C23C16/42; C23C16/455; C23C16/52 【发明人】林玉雪 【主权项内容】1、一种传动机构的表面镀膜方法，其特征在于，包括以下步骤： (a)提供一传动机构； (b)清洁该传动机构的表面； (c)将该传动机构设置于一工作环境中，导入一氢气与一四甲基硅烷 (Tetra-methylsilane；TMS；Si(CH3)4)气体至该工作环境中，施加一外加电力 而在该工作环境中产生一偏压电场，将该偏压电场的一偏压值控制在400～700 伏特(V)，并将该外加电力的功率控制在800～1500瓦(W)，借以在该传 动机构的表面形成一附着膜； (d)导入该氢气、该TMS气体与一烃类(hydrocarbon)气体至该工作 环境中，将该偏压值控制在400～700V，并将该外加电力的功率控制在 800～1500W，借以在该附着膜的表面形成一混合膜，使该混合膜含有一非晶 质类钻石材料与该附着膜所含的成分，且在该混合膜中，越远离该传动机构处， 该非晶质类钻石材料的含量越高；以及 (e)导入该氢气、该TMS气体与该烃类气体至该工作环境中，将该偏压 值控制在400～700V，并将该外加电力的功率控制在800～1500W，借以在该 混合膜的表面形成一非晶质类钻石膜，进而制成一镀膜传动机构。 【当前权利人】林玉雪 【当前专利权人地址】中国台湾台北市 【被引证次数】3 【被他引次数】3.0 【家族引证次数】4.0 【家族被引证次数】3
