【摘要】 一种电容式多轴加速度计，其主要是在基板上的支撑基座间设有第一质 量块，此第一质量块是透过两悬臂以非对称的方式悬挂设置在支撑基座上， 以感测垂直于基板方向的第一方向加速度；在第一质量块内，设置有第二质 量块，此第二质量块是透过弹簧组被悬挂设置在第一质量块上，以感测平行 于基板方向的第二方向加速度；在第二质量块内，亦可设置有第三质量块， 此第三质量块透过弹簧组被悬挂设置在第二质量块上，以感测第三方向的加 速度。其中，第一方向、第二方向和第三方向彼此正交。本发明可有效提高 电容式多轴加速度计的线性度、降低它轴的灵敏度与感测结构的尺寸，优越 的性能将满足例如游戏机、手机与3D指向器等消费性产品和传统汽车安全 应用的需求。 【专利类型】发明申请 【申请人】财团法人工业技术研究院 【申请人类型】科研单位 【申请人地址】中国台湾新竹县 【申请人地区】中国 【申请人城市】台湾省 【申请号】CN200810179780.5 【申请日】2008-12-03 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101666813A 【公开公告日】2010-03-10 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101666813B 【授权公告日】2011-12-21 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】G01P15/18; G01P15/125 【发明人】简欣堂; 许郁文; 陈士 【主权项内容】1.一种电容式多轴加速度计，至少包括： 基板；以及 半导体结构层，配置在该基板上，并与该基板有间距分离，而该半导体 结构层包括： 支撑基座，被固定在该基板； 多个独立弹簧组，至少包括第一独立弹簧组和第二独立弹簧组； 第一质量块，其透过该第一独立弹簧组以非对称的方式悬挂设置在该支 撑基座，且沿第一方向具有转动轴，使该第一质量块在第二方向上呈现不对 称性，并在该第一质量块在第三方向受力时，将以该转动轴为中心转动； 第二质量块，透过该第二独立弹簧组被悬挂设置在该第一质量块上，而 该第二质量块可以感测在该第一方向或该第二方向上的加速度大小，而对应 地沿该第一方向或是该第二方向平移；以及 至少一梳状电容组，配置在该半导体结构层。 【当前权利人】财团法人工业技术研究院 【当前专利权人地址】中国台湾新竹县 【引证次数】2.0 【被引证次数】31 【他引次数】2.0 【被自引次数】1.0 【被他引次数】30.0 【家族引证次数】7.0 【家族被引证次数】31
