【摘要】 本发明涉及一种具有研磨粒的抛光垫及其制造方法。所述具有研磨粒的抛光垫包括多条纤维、多个研磨粒和一高分子体。所述纤维交错排列成纤维基材。所述研磨粒附着在所述纤维上。所述高分子体包覆所述纤维和所述研磨粒。借此,所述纤维的柔韧性使所述研磨粒不易刮伤被抛光工件的表面。 【专利类型】发明申请 【申请人】贝达先进材料股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】中国台湾桃园县 【申请人地区】中国 【申请人城市】台湾省 【申请号】CN200810182931.2 【申请日】2008-12-05 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101745876A 【公开公告日】2010-06-23 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101745876B 【授权公告日】2013-07-17 【授权公告年份】2013.0 【IPC分类号】B24D11/00 【发明人】冯崇智; 姚伊蓬; 洪永璋; 蔡坤成; 林至逸 【主权项内容】一种具有研磨粒的抛光垫,包括:多条纤维,其交错排列成纤维基材;多个研磨粒,其附着在所述纤维上;以及高分子体,其包覆所述纤维和所述研磨粒。 【当前权利人】贝达先进材料股份有限公司 【当前专利权人地址】中国台湾桃园县 【被引证次数】5 【被他引次数】5.0 【家族引证次数】5.0 【家族被引证次数】5