【摘要】 本发明一种薄基板间距量测装置，用以量测存放于一盒体内的多数个 薄基板之间的垂直间距，其主要是包括有：一光电元件，用以发射一光束 至盒体内的一薄基板并接收从此薄基板反射回来的光束；一扫描装置，用 以带动光电元件沿着薄基板的垂直方向移动以量测盒体内的多数个薄基 板之间的垂直间距；以及一旋转基座，用以承载并使盒体转动多数个角度 以量测该些薄基板间的垂直间距。 【专利类型】发明申请 【申请人】家登精密工业股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】台湾省台北县 【申请人地区】中国 【申请人城市】台湾省 【申请号】CN200810149144.8 【申请日】2008-09-12 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101672626A 【公开公告日】2010-03-17 【公开公告年份】2010 【IPC分类号】G01B11/14 【发明人】吕保仪 【主权项内容】1、一种薄基板间距量测装置，用以量测存放于一盒体内的多数个薄 基板之间的垂直间距，其特征在于，包括有： 一光电元件，用以发射一光束至该盒体内的一薄基板并接收从该薄基 板反射的光束； 一扫描装置，用以带动该光电元件沿着该些薄基板的垂直方向移动； 及 一旋转基座，用以承载并使该盒体转动多数个角度以量测该些薄基板 间的垂直间距。 【当前权利人】家登精密工业股份有限公司 【当前专利权人地址】台湾省台北县 【被引证次数】4 【被他引次数】4.0 【家族被引证次数】4
