【摘要】 本发明一种探针塔与其制作方法，用于晶片测试，包含：一圆形本体，配置有LCD测试区及I/O测试区，圆形本体有一本体上座及一本体下座；多群探针孔，设在LCD测试区及I/O测试区，并垂直贯穿本体上座及本体下座；多群测试探针，设在探针孔内；多群接地孔配置在I/O测试区，多群接地针紧配嵌入本体上座及本体下座其中之一的多群接地孔，并电导通至圆形本体。多群间隔环，为绝缘材料，置于探针孔的端部，固定测试探针于圆形本体上，将测试探针与圆形本体电绝缘。另，圆形本体在LCD测试区为玻璃纤维材质，在I/O测试区为铝合金材质，而在I/O测试区的测试探针使用以空气为介质的非同轴设计，使探针塔具有一特定默认值的特征阻抗。。 【专利类型】发明申请 【申请人】京元电子股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】中国台湾新竹市 【申请人地区】中国 【申请人城市】台湾省 【申请号】CN200810175434.X 【申请日】2008-11-12 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101738508A 【公开公告日】2010-06-16 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101738508B 【授权公告日】2012-07-18 【授权公告年份】2012.0 【IPC分类号】G01R1/067; G01R1/073; G01R31/28 【发明人】温进光; 陈圣杰 【主权项内容】一种探针塔，用于晶片测试，包含：一圆形本体，配置有LCD测试区以及I/O测试区，且该圆形本体具有一本体上座及一本体下座；多群探针孔，配置在该LCD测试区及I/O测试区，同时垂直贯穿该本体上座及本体下座；多群测试探针，配置在这些探针孔内，用以传递通过该圆形本体的测试信号；其特征在于：多群接地孔与接地针配置在该I/O测试区，其中这些多群接地针以紧配方式嵌入于该本体上座及本体下座其中之一的多群接地孔，并电性导通至该圆形本体，用以将邻近的测试探针的杂讯及漏电流接地；以及多群间隔环，以绝缘材料制成，配置于这些探针孔的端部，用以固定这些测试探针于这些探针孔内，且提供这些测试探针及该圆形本体的电性绝缘；该圆形本体在该LCD测试区使用玻璃纤维的材质，在该I/O测试区使用铝合金的材质，此外该I/O测试区的测试探针使用以空气为介质的非同轴设计，进而使得该探针塔具有一特定默认值的特征阻抗。。该数据由<>整理 【当前权利人】京元电子股份有限公司 【当前专利权人地址】中国台湾新竹市 【引证次数】5.0 【被引证次数】3 【他引次数】5.0 【被他引次数】3.0 【家族引证次数】9.0 【家族被引证次数】3
