【摘要】 本发明提供了一种微机电感应电容电压的转换装置,用以将微机电组件上所感应的模拟电压转换成数字信号,所述转换装置包括模拟至数字转换器、参考电压电路以及控制器,通过模拟至数字转换器的积分器与比较器,利用参考电压电路产生所需的参考电压,配合控制器所产生的开关信号,进而产生数字信号,同时可与微机电组件整合到单一芯片内以构成微机电系统单芯片。 【专利类型】发明申请 【申请人】纬拓科技股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】中国台湾新竹市 【申请人地区】中国 【申请人城市】台湾省 【申请号】CN200810183030.5 【申请日】2008-12-03 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101753146A 【公开公告日】2010-06-23 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101753146B 【授权公告日】2012-12-26 【授权公告年份】2012.0 【IPC分类号】H03M3/02 【发明人】吕志勋 【主权项内容】一种微机电感应电容电压的转换装置,用以将一微机电组件的一微机电感应电容电压转换成一数字信号,其特征在于,所述转换装置包括一第一级积分器、一比较器以及至少一第二级积分器,其中,所述第一级积分器产生一输出信号,所述第二级积分器接收所述第一级积分器的所述输出信号并产生一输出信号,所述比较器接收所述第二级积分器的所述输出信号并产生数字信号。 【当前权利人】纬拓科技股份有限公司; 旺玖科技股份有限公司 【当前专利权人地址】中国台湾新竹县; 中国台湾台北市南港区南港路三段48号7楼 【被引证次数】2 【被他引次数】2.0 【家族引证次数】3.0 【家族被引证次数】2