【摘要】 本发明是有关于一种用于基板制程的热交换系统，主要由一热泵装置、一个以上的热交换装置、一设于热泵装置与热交换装置之间的集热装置、两条以上连接于热泵装置与集热装置的连接管、两条以上连接于集热装置与热交换装置的分配管与一条以上连接于热交换装置的输送管所组成；前述系统藉由热泵装置吸收热能而产生热源，并收集于集热装置中，再藉由分配管输送至各热交换装置中，使该热交换装置能运用外界的热能对基板制程中使用的药液或气体进行热交换以提高其温度，藉此降低基板制程的生产成本。 【专利类型】发明授权 【申请人】扬博科技股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】中国台湾台北市 【申请人地区】中国 【申请人城市】台湾省 【申请号】CN200810009313.8 【申请日】2008-02-18 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101514878B 【公开公告日】2010-09-29 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101514878B 【授权公告日】2010-09-29 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】F28D7/08; F25B30/02; H05K3/00N; H05K3/00 【发明人】苏胜义; 乔鸿培 【主权项内容】一种用于基板制程的热交换系统，其特征在于其包括：一热泵装置，由一蒸发器、一压缩机、一冷凝器、一膨胀阀和多个通管所组成，该蒸发器藉由通管连接于膨胀阀与压缩机之间，该冷凝器亦藉由通管连接于膨胀阀与压缩机之间，且该冷凝器容置于一设有液体的容器中；一个以上的热交换装置，由一壳体与设于壳体内的输送管所组成；一集热装置，设于热泵装置与热交换装置之间；两条以上的连接管，该连接管的一端连接于热泵装置的容器，另一端则连接于集热装置上；两条以上的分配管，该分配管两端连接于集热装置与热交换装置间；以及一条以上的输送管，是连接到基板制程中的各制程设备，该输送管的两端分别和热交换装置的输送管连接。 【当前权利人】扬博科技股份有限公司 【当前专利权人地址】中国台湾台北市 【家族被引证次数】2
