【摘要】 一种非真空太阳光谱选择性吸收膜层及其制备方法，该吸收膜层是在 不锈钢或铜的基底上由里向外依次设有钛铝膜层、钛铝氮膜层、钛铝氧氮 膜层和钛铝氧膜层；各膜层采用多弧离子镀进行制备，靶材采用钛和铝的 原子比为50∶50的钛铝合金靶；通过控制多弧离子镀气氛中的氩气、氮 气和氧气的流量来控制各膜层中的氮和/或氧的成份。该方法包括：(1) 选取基底材料，并清洗；(2)在多靶复合镀膜机的真空溅射室中烘烤基 底材料；(3)对基底材料表面进行氩离子轰击；(4)对基底材料进行镀 膜。(5)进行退火处理。该收膜层在太阳能光谱范围(0.3～2.5微米) 具有较高的吸收率α，在红外区域(2～50微米)有很低的发射率ε，具 有耐高温氧化特性，满足太阳能高温利用的要求。 【专利类型】发明申请 【申请人】北京有色金属研究总院 【申请人类型】企业 【申请人地址】100088北京市新街口外大街2号 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】西城区 【申请号】CN200810119480.8 【申请日】2008-09-01 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101666557A 【公开公告日】2010-03-10 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101666557B 【授权公告日】2011-12-14 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】F24J2/48; B32B15/04; B32B33/00; C23C14/34; C23C14/14; C23C14/54 【发明人】郝雷; 王树茂; 蒋利军; 刘晓鹏; 李华玲; 李志念; 李国斌 【主权项内容】1、一种非真空太阳光谱选择性吸收膜层，其特征在于，该吸收膜 层是在不锈钢或铜的基底上由里向外依次设有厚度为40～200纳米的钛铝 膜层、厚度为200～300纳米的钛铝氮膜层、厚度为1200～1700纳米的钛铝 氧氮膜层和厚度为60～120纳米的钛铝氧膜层；所述的各膜层采用多弧离 子镀进行制备，靶材采用钛和铝的原子比为50∶50的钛铝合金靶；通过 控制多弧离子镀气氛中的氩气、氮气和氧气的流量来控制各膜层中的氮和 /或氧的成份。 微信 【当前权利人】有研工程技术研究院有限公司 【当前专利权人地址】北京市怀柔区雁栖经济开发区兴科东大街11号 【被引证次数】23 【被自引次数】2.0 【被他引次数】21.0 【家族引证次数】6.0 【家族被引证次数】24
