【摘要】 本发明涉及一种SAW压力传感器，其特征在于：它包括传感器和无线读出电 路两个部分，传感器包括一采用硅材料制成的衬底，将衬底的背面中间减薄成膜 结构，膜结构为衬底的高形变区，其余部分为衬底的固定端；衬底的正面覆盖有 压电材料薄膜，在压电材料薄膜上对称设置有两组SAW元件，SAW元件包括一射频 换能器，一反射器和一消声器，每组SAW元件分别相应一个频率；射频换能器位于 衬底的固定端，反射器位于衬底的高形变区，消声器位于射频换能器和反射器连 线的延长线上；无线读出电路包括射频系统和处理系统，用于无线读出传感器的 压力。本发明利用SAW元件，实现了无源无线的压力测量，并且具有制作简单， 适应温度范围广，抗电磁干扰能力强的特点。 【专利类型】发明授权 【申请人】清华大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】100084北京市海淀区清华大学微电子学研究所 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】海淀区 【申请号】CN200810116799.5 【申请日】2008-07-17 【申请年份】2008 【公开公告号】CN100593700C 【公开公告日】2010-03-10 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN100593700C 【授权公告日】2010-03-10 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】G01L17/00; G01L11/04 【发明人】张兆华; 王肖沐; 刘理天 【主权项内容】1、一种SAW压力传感器，其特征在于：它包括传感器和无线读出电路两个部 分，所述传感器部分包括一采用硅材料制成的衬底，将所述衬底的背面中间减薄成 圆形膜结构，所述膜结构为所述衬底的高形变区，所述衬底的未被减薄部分为固定 端；所述衬底的正面覆盖有压电材料薄膜，所述压电材料薄膜上对称设置有两组SAW 元件，所述SAW元件包括一射频换能器，一反射器和一消声器，每组所述SAW元件 分别响应一个频率；所述射频换能器位于所述衬底的固定端，且所述射频换能器连 接一天线；所述反射器位于所述衬底的高形变区，所述反射器和射频换能器之间的 所述压电材料薄膜形成SAW延时线；所述消声器位于所述射频换能器和反射器连线 的延长线上； 所述无线读出电路部分包括一射频系统和一处理系统，所述射频系统包括一本 地震荡器，所述本地震荡器分别连接一频率综合器和一混频器，所述频率综合连接 一功率放大器，所述功率放大器分别连接一发射天线，所述混频器连接一低噪声放 大器，所述低噪声放大器连接一接收天线；所述处理系统包括一数字信号处理器、 一高速采样器和一中频滤波器，所述数字信号处理器分别连接所述频率综合器和所 述高速采样器，所述高速采样器连接所述中频滤波器，所述中频滤波器连接所述混 频器。 【当前权利人】清华大学 【当前专利权人地址】北京市海淀区清华大学微电子学研究所 【专利权人类型】公立 【统一社会信用代码】12100000400000624D 【引证次数】10.0 【被引证次数】1 【他引次数】10.0 【被他引次数】1.0 【家族引证次数】10.0 【家族被引证次数】8
