【摘要】 本发明公开了一种电容检测电路及其电容式传感器接口电路芯片，涉及传感器装置领域，解决了电容检测电路结构复杂以及电容式传感器接口电路芯片体积大效率低的问题。该电容检测电路包括：电容读出前端电路，输入端与电容读出前端电路连接的解调放大电路，以及输入端与解调放大电路连接的缓冲放大电路。该电容式传感器接口电路芯片包括：自测电路、偏置电流产生电路、传感器零偏补偿电路、参考电压产生电路、时钟产生电路以及分别与上述电路相连的电容检测电路；所述自测电路、传感器零偏补偿电路还分别与片外电容式传感器相连；所述电容式传感器接口电路芯片采用集成电路工艺制作。本发明适用于开环或力平衡闭环加速度计和振动角速度陀螺仪。 【专利类型】发明授权 【申请人】清华大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】100084 北京市100084-82信箱 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】海淀区 【申请号】CN200810055943.9 【申请日】2008-01-02 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101281220B 【公开公告日】2010-09-29 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101281220B 【授权公告日】2010-09-29 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】G01R27/26 【发明人】董景新; 张刚; 刘民杰; 刘云峰 【主权项内容】一种电容检测电路，其特征在于，电容读出前端电路与解调放大电路的输入端连接，解调放大电路连接缓冲放大电路的输入端并通过在线编程调整各级电路的放大倍数、电路带宽和增益；所述电容读出前端电路为其输入电容Ci的一个电极与前置放大器的反相输入端连接，其另一个电极与前置放大器的输出端之间接有反馈电容Cf，内部开关并联在运算放大器的反相输入端与输出端之间，前置放大器的同相输入端接参考电压Vref；所述解调放大电路为前向电容C21与解调放大器的反相输入端相连，积分电容C23并联在解调放大器的反相输入端与输出端之间，反馈电容C22在第一时钟相(φ1)时，两极分别与参考电压相连，在第二时钟相(φ2)时，并联在积分电容C23两端；所述缓冲放大电路为其输入端与解调放大电路连接，输入电阻R31与缓冲放大器的反相输入端相连，反馈电容C31、反馈电阻R32分别并联在缓冲放大器的输入端与输出端之间，缓冲放大器的同相输入端接参考电压Vref。 【当前权利人】清华大学 【当前专利权人地址】北京市100084-82信箱 【专利权人类型】公立 【统一社会信用代码】12100000400000624D 【引证次数】4.0 【他引次数】4.0 【家族引证次数】4.0 【家族被引证次数】40
