【摘要】 本发明公开了一种MEMS陀螺电容读出电路中失调电容的补偿方法及电路，该补偿电路包括依次连接的电荷放大器、高通滤波器、同步解调电路、低通滤波器和一失调电容补偿反馈回路，该反馈回路由低通滤波器、可变增益放大器和反馈电容组成。其中，MEMS陀螺的变化电容信号经过电荷放大器放大后转换成电压信号，并且被载波调制到高频，再经过高通滤波器放大；放大后的信号经过同步解调后，用低通滤波器提取反映失调电容大小的电压信号，该电压信号通过可变增益放大器放大并调制到高频以产生负反馈电压，反馈电容将负反馈电压耦合到电荷放大器输入端，与MEMS陀螺的变化电容信号中的失调电容信号相减，实现了失调电容的自适应补偿。 【专利类型】发明授权 【申请人】北京大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】100871 北京市海淀区颐和园路5号北京大学科研部 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】海淀区 【申请号】CN200810119409.X 【申请日】2008-08-29 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101424533B 【公开公告日】2010-12-08 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101424533B 【授权公告日】2010-12-08 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】G01C19/56; G01C25/00; G01C19/5776 【发明人】王展飞; 鲁文高; 李志宏; 闫桂珍; 刘畅; 王佳 【主权项内容】一种MEMS陀螺电容读出电路中失调电容的补偿方法，其步骤包括：1)电荷放大器将MEMS陀螺的变化电容信号放大后转换成电压信号，该电压信号被载波调制到高频，再经过高通滤波器放大；2)放大后的信号经过同步解调后，用低通滤波器提取反映失调电容大小的电压信号；3)低通滤波器提取的电压信号通过可变增益放大器放大并调制到高频以产生负反馈电压，将上述负反馈电压通过反馈电容反馈到电荷放大器输入端，与MEMS陀螺的变化电容信号中的失调电容信号相减，实现失调电容的补偿。 微信 【当前权利人】北京大学 【当前专利权人地址】北京市海淀区颐和园路5号北京大学科研部 【专利权人类型】公立 【统一社会信用代码】12100000400002259P 【家族被引证次数】11
