【摘要】 本实用新型公开了一种300mm立式氧化炉微环境压力控制系统，设有 与微环境连通的风机，其进气管通过一个流量计MFC和一个自控阀门PV2 与工艺气源连通；风机还通过一个自控阀门PV1直接与气源连通，并通过一 个自控阀门PV3与厂总排气口连通；设有一个压力计与微环境连通，另外设 有一个压差计，该压差计的进气管与微环境内的炉体排气口连通，其排气管 与厂总排气口连通；微环境还设有一个自控阀门PV4控制的排气管；自控阀 门PV1、PV2、PV3、PV4与一个可编程控制器PLC控制连接；压力计和压 差计与PLC信号连接。本实用新型适用于立式氧化炉炉内微环境压力控制， 结构完善，控制灵活，能保证加工质量。 【专利类型】实用新型 【申请人】北京七星华创电子股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】朝阳区 【申请号】CN200820234115.7 【申请日】2008-12-31 【申请年份】2008 【公开公告号】CN201382680Y 【公开公告日】2010-01-13 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN201382680Y 【授权公告日】2010-01-13 【授权公告年份】2010.0 【发明人】钟华; 张豹; 卢言晓; 王喆; 赛义德·赛迪; 靳永毅 【主权项内容】1、一种300mm立式氧化炉微环境压力控制系统，其特征在于：该系统 设有风机(1.1)，该风机的出气管与微环境(3)连通，其进气管通过一个流 量计MFC(1)和一个自控阀门PV2(1.6)与气源连通；风机还通过一个自 控阀门PV1(1.5)直接与气源连通，并通过一个自控阀门PV3(1.4)与厂 房总排气口连通；设有一个压力计(1.2)与微环境连通，另外设有一个压差 计(2.1)，该压差计的进气管与微环境内的炉口排气口(2)连通，其排气管 与厂房总排气口连通；微环境还设有一个自控阀门PV4(2.2)控制的排气管； 所述自控阀门PV1、PV2、PV3、PV4与一个可编程控制器PLC(1.3)控制 连接；所述压力计和压差计与PLC信号连接。 【当前权利人】北京北方华创微电子装备有限公司 【当前专利权人地址】北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号 【专利权人类型】股份有限公司 【统一社会信用代码】91110000726377528Y 【被引证次数】2 【家族被引证次数】2
