【摘要】 本发明公开了一种位相型波带片光子筛，该位相波带片光子筛由中心 部分的位相菲涅耳波带片圆环和包围在该位相菲涅耳波带片圆环周围的 光子筛圆孔构成。所述位相菲涅耳波带片圆环和光子筛圆孔均制作在透明 介质上，先在透明介质上制作位相菲涅耳波带片，在该位相菲涅耳波带片 周围制作光子筛，光子筛的圆孔包围位相菲涅耳波带片的圆环。光子筛最 外环小孔的直径与位相菲涅耳波带片最外环环带的宽度一致，二者都受限 于微细加工得最小线宽。光子筛在制作时所基于的波带片与其内部所包围 的位相菲涅耳波带片的参数相同，且每个圆孔的直径是相应环带宽度的 1.5倍。利用本发明，实现了光子筛聚焦衍射光强的提高，即实现了激光 束远场衍射斑的主斑能量的提升。 【专利类型】发明申请 【申请人】中国科学院微电子研究所 【申请人类型】科研单位 【申请人地址】100029北京市朝阳区北土城西路3号 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】朝阳区 【申请号】CN200810118972.5 【申请日】2008-08-27 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101661225A 【公开公告日】2010-03-03 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101661225B 【授权公告日】2011-06-15 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】G03F7/20; G21K1/00 【发明人】贾佳; 谢长青; 刘明 【主权项内容】1、一种位相型波带片光子筛，其特征在于，该位相波带片光子筛由 中心部分的位相菲涅耳波带片圆环和包围在该位相菲涅耳波带片圆环周 围的光子筛圆孔构成。 【当前权利人】中国科学院微电子研究所 【当前专利权人地址】北京市朝阳区北土城西路3号 【统一社会信用代码】12100000400834434U 【被引证次数】8 【被自引次数】3.0 【被他引次数】5.0 【家族引证次数】3.0 【家族被引证次数】8
