【摘要】 本发明公开了一种水平测量装置及检测半导体传输系统中片盒水平度的方法。水平测量装置上的设有至少有3个压力传感器，其下端处于同一平面上。将水平测量装置放入半导体传输系统中片盒的插槽中，压力传感器的下端支撑在片盒的插槽中，当片盒及其插槽倾斜时，由于水平测量装置自身的重量，高侧的压力传感器与低侧的压力传感器会感触到不同的压力信号，可以根据不同压力传感器感触到的压力信号的不同，判断片盒的水平度。使用方便、测量精确度高。。 【专利类型】发明申请 【申请人】北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5座2楼 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】朝阳区 【申请号】CN200810226663.X 【申请日】2008-11-19 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101738177A 【公开公告日】2010-06-16 【公开公告年份】2010 【IPC分类号】G01C9/00; G01C9/06; H01L21/00 【发明人】韦磊 【主权项内容】一种水平测量装置，其特征在于，包括至少3个压力传感器，所述至少3个压力传感器的下端处于同一平面上。 【当前权利人】北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 【当前专利权人地址】北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5座2楼 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91110302801786752A 【被引证次数】6 【被他引次数】6.0 【家族被引证次数】6
