【摘要】 本发明涉及一种用于蒸镀有机电致发光二极管电极的金属装填方法及系统，方法包括：在密闭操作空间内填充惰性气体；在所述密闭操作空间内将被密封保存的金属取出，放入蒸发舟内；将所述蒸发舟加密封盖密封；将密封的蒸发舟从所述密闭操作空间内取出放入蒸镀空间；从所述蒸镀空间中抽出空气，直至所述蒸发舟打开。系统包括：密闭操作空间，填充有惰性气体；蒸发舟，开口状态下内置于所述密闭操作空间内；密封盖，在所述蒸发舟内置金属状态下，设置于使所述蒸发舟处于密封状态的开口处；蒸镀空间，在所述蒸发舟密封状态下，内置有所述蒸发舟。降低了OLED电极的制作工艺难度，提高了OLED电极的蒸镀质量。 【专利类型】发明申请 【申请人】京东方科技集团股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】100016 北京市朝阳区酒仙桥路10号 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】朝阳区 【申请号】CN200810225523.0 【申请日】2008-11-04 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101736293A 【公开公告日】2010-06-16 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101736293B 【授权公告日】2013-02-13 【授权公告年份】2013.0 【IPC分类号】C23C14/24; H01L51/56 【发明人】孙力 【主权项内容】一种用于蒸镀有机电致发光二极管电极的金属装填方法，其特征在于，包括：在密闭操作空间内填充惰性气体；在所述密闭操作空间内将被密封保存的金属取出，放入蒸发舟内；将所述蒸发舟加密封盖密封；将密封的蒸发舟从所述密闭操作空间内取出放入蒸镀空间；从所述蒸镀空间中抽出空气，直至所述蒸发舟打开。 【当前权利人】京东方科技集团股份有限公司 【当前专利权人地址】北京市朝阳区酒仙桥路10号 【专利权人类型】其他股份有限公司(上市) 【统一社会信用代码】911100001011016602 【被引证次数】7 【被自引次数】5.0 【被他引次数】2.0 【家族引证次数】4.0 【家族被引证次数】7
