【摘要】 本发明公开了一种可切换工位的六自由度精密定位台，所述精密定位台包括吸版台、气浮板、水平向微调机构、底座和垂向调节机构，所述吸版台通过一工位切换机构安装在气浮板的上方，用于承载掩模版，所述水平向微调机构和气浮板连接，用于驱动气浮板在水平方向上移动，所述气浮板下方连接底座，所述垂向调节机构安装在所述底座下方。本发明的精密定位台具有工位切换功能、水平向微调功能和垂向调节功能，可实现六自由度精密调节和定位，并可满足更多工作位置的要求。 【专利类型】发明授权 【申请人】上海微电子装备有限公司; 上海微高精密机械工程有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】201203 上海市张江高科技园区张东路1525号 【申请人地区】中国 【申请人城市】上海市 【申请人区县】浦东新区 【申请号】CN200810038759.3 【申请日】2008-06-10 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101303532B 【公开公告日】2010-06-09 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101303532B 【授权公告日】2010-06-09 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】G03F7/20 【发明人】李生强; 李志龙; 张锋 【主权项内容】一种可切换工位的六自由度精密定位台，其特征在于：包括吸版台、气浮板、水平向微调机构、底座和垂向调节机构，所述吸版台通过一工位切换机构安装在气浮板的上方，用于承载掩模版，所述水平向微调机构和气浮板连接，用于驱动气浮板在水平方向上移动，所述气浮板下方连接底座，所述垂向调节机构安装在所述底座下方；所述工位切换机构包括一气缸和两条导轨，所述气缸通过一转接件固连至吸版台，所述导轨固定在气浮板上表面，所述吸版台底部还设有两个滑块，并可通过滑块沿导轨滑动。 【当前权利人】上海微电子装备(集团)股份有限公司; 上海微高精密机械工程有限公司 【当前专利权人地址】上海市浦东新区张东路1525号; 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区张东路1525号3幢G104室 【专利权人类型】有限责任公司; 其他有限责任公司 【统一社会信用代码】91310000736664790J; 913101157505826011 【引证次数】7.0 【被引证次数】6 【自引次数】2.0 【他引次数】5.0 【被自引次数】6.0 【家族引证次数】7.0 【家族被引证次数】40
