【摘要】 本发明公开了一种电铸用金属母模及其应用。本发明的电铸用金属母模，依次包括基底、粘附层、低熔点金属层、与目标器件形状相匹配的三维结构层和位于所述整个表面的金属种子层；所述低熔点金属层选自铟、铟系低熔点合金、锡系低熔点合金、铋系低熔点合金、铅系低熔点合金、镓系低熔点合金中的任一种或几种；所述粘附层选自钛、铬、镍中的任一种。本发明的电镀用金属母模可用于制作金属铸件，制作过程中能够快速、简便地去除金属母模中的基片，并且能够保持基片完整，使得基片能够重复使用，大大降低了加工电铸金属母模的成本。 微信 【专利类型】发明授权 【申请人】博奥生物有限公司; 清华大学 【申请人类型】企业,学校 【申请人地址】102206 北京市昌平区生命科学园路18号 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】昌平区 【申请号】CN200810225222.8 【申请日】2008-10-28 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101403125B 【公开公告日】2010-12-22 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101403125B 【授权公告日】2010-12-22 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】C25D1/10 【发明人】于中尧; 李冠男; 程京 【主权项内容】一种电铸用金属母模，依次包括基底、粘附层、低熔点金属层、与目标器件形状相匹配的三维结构层和位于所述整个三维结构层表面的金属种子层；所述低熔点金属层选自铟、铅、锡、铋、铟系低熔点合金、锡系低熔点合金、铋系低熔点合金、铅系低熔点合金、镓系低熔点合金中的任一种或几种；所述粘附层选自钛、铬、镍中的任一种；所述三维结构层由环氧基负性光刻胶制成，所述环氧基负性光刻胶为SU8光刻胶；所述低熔点金属层和所述三维结构层之间设有一有机薄膜层；所述基底和所述粘附层之间设有一有机薄膜层。 【当前权利人】博奥生物集团有限公司; 清华大学 【当前专利权人地址】北京市昌平区生命科学园路18号; 北京市海淀区清华园 【专利权人类型】公立 【统一社会信用代码】12100000400000624D 【家族被引证次数】9
