【摘要】 本发明公开了一种灰尘清洁装置和方法，涉及灰尘清洁技术，能 够解决现有的灰尘清洁装置中光线照射方向与灰尘清洁方向不一致 的问题。本发明灰尘清洁装置，包括：输出端并列设置的至少一根光 纤和至少一根第一导气管；与所述光纤的输入端连接的光源；与所述 第一导气管的输入端连接的压缩气体发生器。本发明灰尘清洁方法， 包括：利用光线检测灰尘；在检测到灰尘时，沿所述光线的方向喷出 气体将灰尘清除。本发明适用于洁净室中的设备除灰。 【专利类型】发明申请 【申请人】北京京东方光电科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】100176北京市北京经济技术开发区西环中路8号 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】大兴区 【申请号】CN200810117861.2 【申请日】2008-08-06 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101642758A 【公开公告日】2010-02-10 【公开公告年份】2010 【发明人】周伟峰; 明星; 郭建 【主权项内容】1、一种灰尘清洁装置，其特征在于，包括： 输出端并列设置的至少一根光纤和至少一根第一导气管； 与所述光纤的输入端连接的光源； 与所述第一导气管的输入端连接的压缩气体发生器。 【当前权利人】北京京东方光电科技有限公司 【当前专利权人地址】北京市北京经济技术开发区西环中路8号 【专利权人类型】有限责任公司(台港澳与境内合资) 【统一社会信用代码】911103027493533932 【被引证次数】TRUE 【家族被引证次数】TRUE
