【摘要】 本发明提供一种化学气相沉积系统，其包括进气装置、抽气装置以及连接于进气装置与抽气装置之间的反应器，该反应器内设置有用于放置基底的载具，该反应器内位于进气装置与抽气装置之间设置多个隔板，每一隔板均具有至少一个通孔，相邻两个隔板间的通孔相互错开。 【专利类型】发明申请 【申请人】鸿富锦精密工业(深圳)有限公司; 鸿海精密工业股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】518109 广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号 【申请人地区】中国 【申请人城市】深圳市 【申请人区县】宝安区 【申请号】CN200810306514.4 【申请日】2008-12-24 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101760728A 【公开公告日】2010-06-30 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101760728B 【授权公告日】2012-11-21 【授权公告年份】2012.0 【IPC分类号】C23C16/455 【发明人】裴绍凯 【主权项内容】一种化学气相沉积系统，其包括进气装置、抽气装置以及连接于进气装置与抽气装置之间的反应器，该反应器内设置有用于放置基底的载具，其特征在于，该反应器内位于进气装置与抽气装置之间设置多个隔板，每一隔板均具有至少一个通孔，相邻两个隔板间的通孔相互错开。。 【当前权利人】鸿富锦精密工业(深圳)有限公司; 鸿海精密工业股份有限公司 【当前专利权人地址】广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号; 中国台湾新北市土城区中山路66号 【专利权人类型】有限责任公司(外国法人独资) 【统一社会信用代码】914403007084307436 【被引证次数】4 【被他引次数】4.0 【家族引证次数】4.0 【家族被引证次数】6
