【摘要】 本发明涉及真空溅射镀膜设备，一种用于对工件进行镀膜的镀膜设备，其包括具有开 口的第一腔体、设置在所述开口处的挡板和红外线加热单元，所述红外线加热单元设置在所 述第一腔体中，所述红外线加热单元发出红外线对所述工件加热，所述挡板将所述红外线加 热单元密封在所述第一腔体中，所述红外线通过所述挡板后对所述工件进行加热。红外线通 过红外线穿透视窗后对工件进行加热，使得红外线加热单元不会受到其他物质的干扰、加热 稳定。 【专利类型】发明申请 【申请人】鸿富锦精密工业(深圳)有限公司; 鸿海精密工业股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】518109广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号 【申请人地区】中国 【申请人城市】深圳市 【申请人区县】宝安区 【申请号】CN200810304473.5 【申请日】2008-09-11 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101672934A 【公开公告日】2010-03-17 【公开公告年份】2010 【IPC分类号】G02B1/10; C23C14/34; C23C14/22 【发明人】洪新钦 【主权项内容】1.一种镀膜设备，用于对工件进行镀膜，所述镀膜设备包括具有开 口的第一腔体和红外线加热单元，所述红外线加热单元设置在所述第一腔体中，所述红外线 加热单元发出红外线对所述工件加热，其特征在于：进一步包括一个设置在所述开口处的挡 板，所述挡板将所述红外线加热单元密封在所述第一腔体中，所述红外线通过所述挡板后对 所述工件进行加热。 【当前权利人】鸿富锦精密工业(深圳)有限公司; 鸿海精密工业股份有限公司 【当前专利权人地址】广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号; 中国台湾新北市土城区中山路66号 【专利权人类型】有限责任公司(外国法人独资) 【统一社会信用代码】914403007084307436 【被引证次数】2 【被他引次数】2.0 【家族引证次数】7.0 【家族被引证次数】3
