【摘要】 本发明公开了一种超薄六维力传感器及其测量三维力和三维力矩信息的方法，包括传力柱(1)外壁上连接有平行的上E型膜片，下E型膜片，上E型膜片上连接有上内环筒与上外环筒，构成上E型膜(4)，上外环筒上分布有安装螺孔作为加载环，上内环筒与上外环筒之间连接有间隔90°排布的薄矩形金属片；下E型膜片上连接有下内环筒与下外环筒，构成下E型膜(5)。传感器采用双E型膜片加四片薄矩形金属片为其力敏元件，在力敏元件上适当位置粘贴24片应变片，并将其组成六组惠斯通电桥实现对六维力的同时测量，同时获取各种具体的应用场合下的六维力信息。本发明维间耦合小、精度高、动态性能好，能自动消除温度的影响，应用于各种不同应用场合。 【专利类型】发明授权 【申请人】中国科学院合肥物质科学研究院 【申请人类型】科研单位 【申请人地址】230031 安徽省合肥市蜀山湖路350号1130信箱 【申请人地区】中国 【申请人城市】合肥市 【申请人区县】蜀山区 【申请号】CN200810243742.1 【申请日】2008-11-25 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101419102B 【公开公告日】2010-09-15 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101419102B 【授权公告日】2010-09-15 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】G01L1/22; G01L3/00 【发明人】戈瑜; 梁桥康; 宋全军; 葛运建; 曹会彬; 孙玉苹; 王以俊; 张广斌 【主权项内容】一种超薄六维力传感器，包括中间有通孔的传力柱(1)，其特征在于：传力柱(1)外壁上连接有平行的上E型膜片，下E型膜片，所述的上E型膜片上连接有上内环筒与上外环筒，构成上E型膜(4)，所述的上外环筒上分布有安装螺孔作为加载环，所述的上内环筒与上外环筒之间连接有间隔90°排布的薄矩形金属片(21、22、23、24)；所述的下E型膜片上连接有下内环筒与下外环筒，构成下E型膜(5)，所述的下外环筒作为基座。 【当前权利人】中国科学院合肥物质科学研究院 【当前专利权人地址】安徽省合肥市蜀山湖路350号1130信箱 【统一社会信用代码】121000007178068020 【被引证次数】1 【被他引次数】1.0 【家族被引证次数】41
