【摘要】 本发明公开了一种氮化钨基三元纳米复合超硬薄膜材料及其制备方法。 材料为基底上覆有化学式为WxM1-xN的纳米复合超硬薄膜，化学式中的W为金 属钨、M为金属置换物、N为氮、x的取值范围为0.06～0.72，薄膜由金属钨 与金属M的氮化物固溶相和金属钨相构成，或者由氮化钨相、金属钨相和金 属M相构成，其晶粒尺寸为4～30nm、膜的厚度为3～7μm；方法为，先将由 金属钨与金属置换物构成的复合靶和基底分别置于磁控溅射设备真空室内的 阴极上和样品台中，再待真空室的真空度≤1×10-3pa、基底温度达350～ 450℃后，使真空室处于氩氮混合气氛下，溅射60～120min，制得氮化钨基三 元纳米复合超硬薄膜材料。它可广泛地用于机械制造、汽车与纺织工业、地 质钻探、模具工业等领域。。 【专利类型】发明申请 【申请人】中国科学院合肥物质科学研究院 【申请人类型】科研单位 【申请人地址】230031安徽省合肥市1110信箱 【申请人地区】中国 【申请人城市】合肥市 【申请人区县】蜀山区 【申请号】CN200810022757.5 【申请日】2008-07-10 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101624295A 【公开公告日】2010-01-13 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101624295B 【授权公告日】2012-02-22 【授权公告年份】2012.0 【发明人】杨俊峰; 刘庆; 袁志刚; 王伟国; 程帜军; 王先平; 方前锋 【主权项内容】1、一种氮化钨基三元纳米复合超硬薄膜材料，包括基底，其特征在于所 述基底上覆有化学式为WxM1-xN的纳米复合超硬薄膜，所述化学式WxM1-xN中的 W为金属钨、M为金属置换物、N为氮、x的取值范围为0.06～0.72，所述金 属置换物M为金属钽或金属钛或金属铬或金属镍或金属银，所述纳米复合超 硬薄膜由金属钨与金属M的氮化物固溶相和金属钨相构成，或者由氮化钨相、 金属钨相和金属M相构成，其晶粒尺寸为4～30nm、膜的厚度为3～7μm。 【当前权利人】中国科学院合肥物质科学研究院 【当前专利权人地址】安徽省合肥市1110信箱 【统一社会信用代码】121000007178068020 【被引证次数】13 【家族被引证次数】14
