【摘要】 本发明公开了一种高温液态氯硅烷的输送方法，是对于多晶硅生产中的精馏、回收系统塔釜中的液态氯硅烷进行输送，其特征在于：通过蒸汽将处于低位置的液态氯硅烷加热成气态氯硅烷，气态氯硅烷上升，然后通过RO水将气态氯硅烷冷凝成液态氯硅烷，冷凝后的液态氯硅烷位于高位置的罐内，然后通过调节阀和流量计来控制输送液态氯硅烷到下一个塔或罐；本方法采用再沸器和冷凝器的配合代替了屏蔽泵，这样不仅完全解决了汽蚀现象，而且通过氯硅烷的性态变化使得输送也非常方便，同时所传送的流量可以准确控制，流速平稳。 【专利类型】发明授权 【申请人】四川永祥多晶硅有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】614800 四川省乐山市五通桥竹根镇新华村 【申请人地区】中国 【申请人城市】乐山市 【申请人区县】五通桥区 【申请号】CN200810147641.4 【申请日】2008-11-24 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101417801B 【公开公告日】2010-11-17 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101417801B 【授权公告日】2010-11-17 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】C01B33/029; C01B33/03 【发明人】戴自忠; 易忠海 【主权项内容】一种高温液态氯硅烷的输送方法，是对于多晶硅生产中的精馏、回收系统塔釜中的液态氯硅烷进行输送，其特征在于：通过蒸汽将处于低位置的液态氯硅烷加热成气态氯硅烷，气态氯硅烷上升，然后通过RO水将气态氯硅烷冷凝成液态氯硅烷，冷凝后的液态氯硅烷位于高位置的罐内，然后通过调节阀和流量计来控制输送液态氯硅烷到下一个塔或罐；所述低位置的液态氯硅烷的温度为85～110℃。 【当前权利人】四川永祥新能源有限公司 【当前专利权人地址】四川省乐山市五通桥区龙翔路999号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91511100660281872G
