【摘要】 本实用新型公开了一种氢化炉，包括炉筒(1)、底盘(2)、电极组件(3)、加 热器(4)、保温罩(5)、设备支撑架(6)、出气口(8)和混合气进口(9)；其中炉 筒(1)与底盘(2)连接在一起；炉筒(1)内部有加热器(4)和保温罩5；加热器(4) 固定在电极组件(3)上，电极组件(3)通过底盘上的电极座安装在底盘(2)上， 底盘(2)和电极组件(3)是绝缘的；保温罩(5)直接放置在底盘(2)上，水冷高温 出气口(8)焊接在底盘(2)上，在炉筒(1)的顶部有混合气进口(9)；整个炉体安 装在支撑架(6)上。该氢化炉使用方便安全、效率高。 【专利类型】实用新型 【申请人】四川新光硅业科技有限责任公司; 四川新光多晶硅工程技术有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】614000四川省乐山市高新区乐高大道2号 【申请人地区】中国 【申请人城市】乐山市 【申请号】CN200820223356.1 【申请日】2008-12-12 【申请年份】2008 【公开公告号】CN201424377Y 【公开公告日】2010-03-17 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN201424377Y 【授权公告日】2010-03-17 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】C01B33/021 【发明人】张惠国; 蒲晓东; 赵兴华; 刘勇; 毛庆; 朱建军 【主权项内容】1、一种氢化炉，其特征在于，包括炉筒(1)、底盘(2)、电极组件(3)、 加热器(4)、保温罩(5)、设备支撑架(6)、出气口(8)和混合气进口 (9)；其中炉筒(1)与底盘(2)连接在一起；炉筒(1)内部有加热器(4) 和保温罩5；加热器(4)固定在电极组件(3)上，加热器(4)位于保 温罩(5)内部，电极组件(3)通过底盘上的电极座安装在底盘(2)上， 底盘(2)和电极组件(3)是绝缘的；保温罩(5)直接放置在底盘(2)上， 水冷高温出气口(8)焊接在底盘(2)上，在炉筒(1)上有混合气进口 (9)。 【当前权利人】四川新光硅业科技有限责任公司; 四川新光多晶硅工程技术有限公司 【当前专利权人地址】四川省乐山市高新区乐高大道2号; 四川省成都市双流西南航空港双华路288号 【专利权人类型】有限责任公司; 有限责任公司(自然人投资或控股的法人独资) 【统一社会信用代码】; 91510122677153981M 【被引证次数】4 【被自引次数】1.0 【被他引次数】3.0 【家族被引证次数】4
