【摘要】 本发明涉及一种二维电动位移平台，该位移平台的Y向马达固定于基台上，Y向动台置于基台的Y向导轨上，Y向马达通过Y向驱动杆与Y向动台连接；X向动台置于Y向动台的X向导轨上；X向马达固定于基台上；X向过渡台置于基台的X向导轨上，X向马达通过X向驱动杆与X向过渡台连接；Y向过渡台置于X向过渡台的Y向导轨上；连动杆一端与X向动台固定连接，另一端与Y向过渡台固定连接。本发明X向马达置于基台之上，使得运动部件质量得到大幅降低，在马达驱动力矩不变的情况下，实现了大加速度，从而提高了平台的位移速度。 【专利类型】发明授权 【申请人】中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 【申请人类型】科研单位 【申请人地址】130033 吉林省长春市东南湖大路16号 【申请人地区】中国 【申请人城市】长春市 【申请人区县】二道区 【申请号】CN200810051119.6 【申请日】2008-08-27 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101339914B 【公开公告日】2010-06-16 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101339914B 【授权公告日】2010-06-16 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】H01L21/67; H01L21/677; H01L21/68; H01L21/687 【发明人】宋志; 李树峰; 刘亚忠; 高跃红; 郑福志 【主权项内容】一种二维电动位移平台，包括基台，Y向马达，Y向驱动杆，Y向动台，X向马达，X向驱动杆，X向动台，其特征在于还包括X向过渡台(8)，Y向过渡台(9)，连动杆(10)；X向马达(5)固定于基台(1)上；X向过渡台(8)置于基台(1)的X向导轨上，X向马达(5)通过X向驱动杆(6)与X向过渡台(8)连接；Y向过渡台(9)置于X向过渡台(8)的Y向导轨上；连动杆(10)的一端与X向动台(7)固定连接，另一端与Y向过渡台(9)固定连接。 【当前权利人】中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 【当前专利权人地址】吉林省长春市东南湖大路16号 【统一社会信用代码】1210000041275487XF 【引证次数】3.0 【被引证次数】4 【他引次数】3.0 【被他引次数】4.0 【家族引证次数】3.0 【家族被引证次数】4
