【摘要】 本发明提供一种抛光垫，包括基材，设于基材上的黏合介质，以及复 数个纳米碳管丛，分布于黏合介质上，且直立于基材上方，其中纳米碳管 丛在基材上的分布密度由内向外递减或由内向外递增。本发明另提供一种 抛光垫的形成方法及一种抛光方法。 ： 【专利类型】发明申请 【申请人】财团法人工业技术研究院 【申请人类型】科研单位 【申请人地址】台湾省新竹县 【申请人地区】中国 【申请人城市】台湾省 【申请号】CN200810146007.9 【申请日】2008-08-06 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101642898A 【公开公告日】2010-02-10 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101642898B 【授权公告日】2011-09-14 【授权公告年份】2011.0 【发明人】张所鋐; 黄炳坤; 吴东权; 蔡祯辉; 林宏彝 【主权项内容】1.一种抛光垫，包括： 一基材； 一黏合介质，设于该基材上；以及 复数个纳米碳管丛，分布于该黏合介质上，且直立于该基材上方，其 中该些纳米碳管丛在该基材上的分布密度由内向外递减或由内向外递增。 【当前权利人】财团法人工业技术研究院 【当前专利权人地址】中国台湾新竹县 【被引证次数】TRUE 【家族被引证次数】TRUE
