【摘要】 本发明提供一种影像显示系统及其制造方法，上述影像显示系统包括薄 膜晶体管基板，上述薄膜晶体管基板包括基板，其具有显示区域及垫区域； 以及导线，设置于该显示区域的该基底上方，该导线具有上金属线、中间金 属线及下金属线，其中该中间金属线的宽度窄于该上金属线的宽度。 【专利类型】发明申请 【申请人】统宝光电股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】中国台湾新竹科学工业区 【申请人地区】中国 【申请人城市】台湾省 【申请号】CN200810172104.5 【申请日】2008-11-10 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101676781A 【公开公告日】2010-03-24 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101676781B 【授权公告日】2013-02-13 【授权公告年份】2013.0 【IPC分类号】G02F1/1362; G02F1/13; H01L27/12; H01L21/84; G06F3/041; H01L21/70 【发明人】林介文; 王之杰; 张圣文; 万德昌 【主权项内容】1.一种影像显示系统的制造方法，包括： 提供基板，其包括显示区域及垫区域； 依序形成下金属层、中间金属层、上金属层于该基板上； 各向异性蚀刻该上金属层、该中间金属层及该下金属层以在该显示区域 形成导线，该导线具有下金属线、中间金属线及上金属线；以及 各向同性蚀刻该中间金属线，以使该中间金属线的宽度窄于该上金属线 的宽度及该下金属线的宽度。 【当前权利人】统宝光电股份有限公司 【当前专利权人地址】中国台湾新竹科学工业区 【被引证次数】19 【被他引次数】19.0 【家族引证次数】5.0 【家族被引证次数】20
