【摘要】 本发明公开了一种干涉相位差显微镜，适于检测于量测区内的待测物。干涉相位差显微镜包括光源、分光镜与影像传感器，其中分光镜是将光源所产生的光束反射至量测区，而光束从量测区被反射后会穿过分光镜而入射影像传感器。干涉相位差显微镜更于光束的光路上配置第一偏极片、第二偏极片、第一干涉相位差棱镜、波板以及第二干涉相位差棱镜，其中第一偏极片是位于光源与分光镜之间，而第二偏极片是位于分光镜与影像传感器之间，且第一干涉相位差棱镜、波板以及第二干涉相位差棱镜是依序位于分光镜与量测区之间。第一干涉相位差棱镜的主轴与第二干涉相位差棱镜的主轴夹90度角。。 【专利类型】发明申请 【申请人】财团法人工业技术研究院 【申请人类型】科研单位 【申请人地址】中国台湾新竹县 【申请人地区】中国 【申请人城市】台湾省 【申请号】CN200810171601.3 【申请日】2008-10-21 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101726844A 【公开公告日】2010-06-09 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101726844B 【授权公告日】2011-11-23 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】G02B21/00; G02B5/30; G01B9/02 【发明人】刘定坤; 杨富翔; 王俊杰 【主权项内容】一种干涉相位差显微镜，其特征在于，包括：一光源，适于产生一光束；一分光镜，反射该光束至一量测区；一影像传感器，该光束从该量测区被反射后会穿过该分光镜而入射该影像传感器；一第一偏极片，配置于该光束的光路上，并位于该光源与该分光镜之间；一第二偏极片，配置于该光束的光路上，并位于该分光镜与该影像传感器之间；一第一干涉相位差棱镜，配置于该光束的光路上，并位于该分光镜与该量测区之间；一波板，配置于该光束的光路上，并位于该第一干涉相位差棱镜与该量测区之间；以及一第二干涉相位差棱镜，配置于该光束的光路上，并位于该波板与该量测区之间，且该第一干涉相位差棱镜的主轴与该第二干涉相位差棱镜的主轴夹90度角。 【当前权利人】财团法人工业技术研究院 【当前专利权人地址】中国台湾新竹县 【引证次数】2.0 【被引证次数】6 【他引次数】2.0 【被自引次数】2.0 【被他引次数】4.0 【家族引证次数】6.0 【家族被引证次数】6
