【摘要】 本发明提供一种具有光纤模块的光刻装置，包括一光源、一光罩，位于 光源下方、一透镜，位于光罩下方、一基材平台，位于透镜的下方，用于承 载一晶圆，其中晶圆之上包括一干膜，前述的光刻装置还包括一光纤模块， 具有一前表面，其中光纤模块位于透镜下方，可以使深紫外光通过，光纤模 块的前表面和晶圆上的干膜之间，定义出一间隔，前述的间隔小于光源波长。 本发明的特征在于利用光纤模块和干膜之间的距离小于光源波长，产生近场 效应，进而达到提升分辨率的目的。 【专利类型】发明申请 【申请人】南亚科技股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】中国台湾桃园县 【申请人地区】中国 【申请人城市】台湾省 【申请号】CN200810144580.6 【申请日】2008-08-22 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101655667A 【公开公告日】2010-02-24 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101655667B 【授权公告日】2011-03-23 【授权公告年份】2011.0 【发明人】徐维成; 王雅志 【主权项内容】1.一种具有光纤模块的光刻装置，包括： 一光源； 一光罩，位于该光源下方； 一透镜，位于该光罩下方； 一基材平台，位于该透镜的下方，用于承载一晶圆，其中该晶圆之上具 有一干膜；以及 一光纤模块，具有一前表面，其中该光纤模块位于该透镜下方且于该基 材平台上方，该光纤模块的该前表面和该晶圆上的该干膜表面之间，定义出 一间隔，该间隔小于该光源的波长，以产生近场效应，提升该光刻装置的分 辨率。 该数据由<>整理 【当前权利人】南亚科技股份有限公司 【当前专利权人地址】中国台湾桃园县 【被引证次数】TRUE 【家族被引证次数】TRUE
