【摘要】 本发明提供了一种三维形貌检测装置，其包含至少二光学检测装置及一倾斜角度调整机构。该倾斜角度调整机构将至少二光学检测装置架设其上，以调整该光学检测装置的倾斜角度。当至少二光学检测装置的倾斜角度改变时，该至少二光学检测装置的焦点维持在同一位置，并使待测物位于该至少二光学检测装置的视场范围内。将该至少二光学检测装置撷取影像数据进行影像重建后，即可得到待测物的三维形貌。 【专利类型】发明申请 【申请人】财团法人工业技术研究院 【申请人类型】科研单位 【申请人地址】中国台湾新竹县 【申请人地区】中国 【申请人城市】台湾省 【申请号】CN200810180153.3 【申请日】2008-12-01 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101750027A 【公开公告日】2010-06-23 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101750027B 【授权公告日】2011-08-10 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】G01B11/24 【发明人】王伟诚; 郭世炫; 陈金亮 【主权项内容】一种三维形貌检测装置，其特征在于，包含：至少二光学检测装置；一倾斜角度调整机构，将该至少二光学检测装置架设其上，以调整该至少二光学检测装置的倾斜角度；其中当该至少二光学检测装置的倾斜角度改变时，该至少二光学检测装置的焦点维持在同一位置，并使待测物位于该至少二光学检测装置的视场范围内。 【当前权利人】财团法人工业技术研究院 【当前专利权人地址】中国台湾新竹县 【引证次数】1.0 【被引证次数】10 【他引次数】1.0 【被他引次数】10.0 【家族引证次数】6.0 【家族被引证次数】10
