【摘要】 该数据由<>整理 。本发明公开了一种调整扭转式微机电元件共振频率的方法。首先提供一 扭转式微机电元件，接着对该扭转式微机电元件进行一共振频率检测，以获 知该扭转式微机电元件的一实际共振频率，若该扭转式微机电元件的该实际 共振频率高于一标准共振频率时，则固定至少一质量块于该扭转式微机电元 件，得以增加该扭转式微机电元件的质量，以便降低该实际共振频率至接近 该标准共振频率，而达到调整该调整扭转式微机电元件共振频率的目的。 【专利类型】发明申请 【申请人】探微科技股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】中国台湾桃园县 【申请人地区】中国 【申请人城市】台湾省 【申请号】CN200810127290.0 【申请日】2008-07-03 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101618849A 【公开公告日】2010-01-06 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101618849B 【授权公告日】2012-09-26 【授权公告年份】2012.0 【IPC分类号】B81C5/00 【发明人】黄荣山; 何宪龙 【主权项内容】1.一种调整扭转式微机电元件共振频率的方法，其包含有： 提供一扭转式微机电元件，其包含一支持结构、一平板主体，以及连接 该平板主体与该支持结构的至少二扭转轴； 对该扭转式微机电元件进行一共振频率检测，以获知该扭转式微机电元 件的一实际共振频率；以及 当该扭转式微机电元件的该实际共振频率高于一标准共振频率时，则固 定至少一质量块于该平板主体，增加该扭转式微机电元件的质量以使该实际 共振频率降低至接近该标准共振频率。 【当前权利人】探微科技股份有限公司 【当前专利权人地址】中国台湾桃园县 【家族引证次数】5.0
